ナノオーダーの超小型発光素子に道

独立行政法人物質・材料研究機構 (理事長 : 岸 輝雄) 物質研究所 (所長 : 渡辺 遵) の羽田 肇 (電子セラミックスグループ・ディレクター) と太陽誘電株式会社 (代表取締役社長 : 川田 貢) WIN グループ先端デバイス部 (部長 兼物質・材料研究機構客員研究員 : 藤本 正之) らのグループは、文部科学省科学技術振興調整費の研究課題「セラミックスインテグレーション^※1技術による新機能材料創製に関する研究」 (平成12年度~平成16年度、研究リーダー : 羽田 肇) の一環として、結晶異方性エッチング^※2と機械化学研磨 (Chemical Mechanical Polishing (CMP) ) ^※3技術を駆使したシリコン微細加工によるナノメーターオーダーのピットをアレイ状 (格子状) に形成することで、酸化亜鉛を埋め込んだ高精細酸化亜鉛ナノピット発光アレイ^※4を実現することに成功した。