第105回先端計測オープンセミナー

放射光軟X線顕微分光法による微細デバイス観測と多次元測定への展開

開催日: 2017.08.09 終了

日時

8月9日 (水) 15:00~16:00

会場

国立研究開発法人 物質・材料研究機構 
千現地区 研究本館8階 中セミナー室
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参加方法及びお問合わせ

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講演者

永村直佳 (先端材料解析研究拠点/表面化学分析グループ、研究員)

表題

放射光軟X線顕微分光法による微細デバイス観測と多次元測定への展開

講演要旨

ナノ構造機能材料において、バルク材料では気にならなかった表面反応や異種接合界面の状態を知るには、イメージング分析技術が有用である。中でも我々が開発した走査型光電子顕微鏡”3D nano-ESCA”[1]は、プローブ にSPring-8の高輝度放射光軟X線を利用して高い空間・エネルギー分解能で光電子分光のスペクトルマッピングが可能である。本発表では、トランジスタ[2]や触媒材料[3]等の具体的な解析例とともに、多パラメータ同時測定としてオペランド測定(外場、時間)への展開について紹介する。
[1] K. Horiba et al. Rev. Sci. Instrum. 82, 113701(2011).
[2] N. Nagamura et al. APL 106, 251604 (2015).
[3] E. Sakai et al. Nanoscale 8, 18893 (2016).

関連ファイル・リンク

イベント・セミナーデータ

イベント・セミナー名
第105回先端計測オープンセミナー
放射光軟X線顕微分光法による微細デバイス観測と多次元測定への展開
会場
国立研究開発法人 物質・材料研究機構
千現地区 研究本館8階 中セミナー室
開催日: 時間
2017.08.09
15:00~16:00
参加料
無料

お問合わせ

国立研究開発法人　物質・材料研究機構　先端材料解析研究拠点運営室
Tel:029-851-3354 内線3861
Fax:029-859-2801
E-Mail: amc=ml.nims.go.jp([ = ] を [ @ ] にしてください)
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