透明な高周波デバイス

見えないアンテナへの道

2010.10.28

独立行政法人物質・材料研究機構

NIMS 光材料センターおよび、センサ材料センターは、太陽誘電 (株) と共同で、透明な高周波デバイスを製造するための基本技術である微細な金属配線と酸化物透明導電体からなるハイブリッド構造を開発した。

概要

独立行政法人物質・材料研究機構 (理事長 : 潮田 資勝) 光材料センター (センター長 大橋 直樹) および、センサ材料センター (センター長 羽田 肇) は、太陽誘電 (株) と共同で、透明な高周波デバイスを製造するための基本技術である微細な金属配線と酸化物透明導電体からなるハイブリッド構造を開発した。本技術は、不透明であるが高い伝導性を示す金属と、透明ではあるが金属の100分の1程度の伝導率にとどまる酸化物透明導電体とを組合せ、両者の特性を相補的に活用することにより、透明であり、かつ、携帯電話をはじめとする無線デジタル通信に用いられるギガヘルツ帯の高周波に対して高い伝送特性を示す素子構造を実現した。
「参考資料中の図 : 透明コプレーナー型導波路」の画像

参考資料中の図 : 透明コプレーナー型導波路